| 型号 | L2220 | L2230 | L2240 | L2250 |
| 视野 (mm) | 17-21 | 50-78 | 102-165 | 168-290 |
| 安装距离 (mm) | 40 | 90 | 195 | 350 |
| 测量范围 (mm) | 20 | 80 | 176 | 334 |
| X方向分辨率(μm) | 8.5-10.7 | 24.8-38.5 | 49.9-80.6 | 82.4-142.1 |
| Z方向分辨率(μm) | 1.2-1.9 | 4.8-11.5 | 10.0-26.2 | 17.9-53.1 |
| 重复精度(Z轴)（μm） | 0.4 | 0.8 | 1.0 | 1.5 |
| 线性精度(Z轴)(+/-% of MR) | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
| 激光波长(nm) | 405 | 405 | 405 | 405 |
| 扫描速度(Hz) | 240-6000 | 240-6000 | 240-6000 | 240-6000 |
